南京晨虹特氣集團公司
（成員單位）
南京特種氣體廠股份有限公司
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Phosphine 磷烷（PH3）
Total Purity 純度≥99.999%
氣相雜質Vapor Phase Impurities
Contaminants雜質 | Specifications規格 | |
Ar | Argon氬 | ＜100ppb |
CO2 | Carbon Dioxide二氧化碳 | ＜100ppb |
CO | Carbon Monoxide一氧化碳 | ＜100ppb |
AsH3 | Arsine砷 | ＜2.0ppm |
N2 | Nitrogen氮氣 | ＜3.0ppm |
C2H6 | Ethane乙烷 | ＜100ppb |
C3H8 | Propane丙烷 | ＜100ppb |
O2 | Oxygen氧 | ＜1.0ppm |
THC | Total Hydrocarbon碳氫化合物 | ＜1.0ppm |
H2O | Moisture水 | ＜1.0ppm |
包裝規格Standard Package Information
Cylinder Type氣瓶規格 | 44L |
Fill Weight充裝量 | 13.6kg |
Valve Connection閥門 | CGA-350 |
