南京晨虹特氣集團公司
（成員單位）
南京特種氣體廠股份有限公司
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氣體組分和用途
組分氣體 | 平衡氣 | 用途 |
硅烷SiH4 | 氦He、氬Ar、氫H2、氮N2 | 外延（生長） |
四氟化碳CF4 | 氧O2 | 常用蝕刻 |
乙硼烷B2H6等 | 氦He、氬Ar、氫H2、氮N2 | 摻雜P氣 |
磷烷PH3等 | 氦He、氬Ar、氫H2、氮N2 | 摻雜N氣 |
磷烷PH3 | 硅烷SiH4 | 其他 |
乙硼烷B2H6 | 硅烷SiH4 | |
硅烷SiH4 | 氦He、氬Ar、氫H2、氮N2 | |
乙硼烷B2H6 | 氦He、氬Ar、氫H2、氮N2 | |
磷烷PH3 | 氦He、氬Ar、氫H2、氮N2 | |
砷烷AsH3 | 氦He、氬Ar、氫H2、氮N2 | |
鍺烷GeH4 | 氦He、氬Ar、氫H2、氮N2 |
包裝規格 Standard Package Information
氣瓶規格 | 4L、8L、40L、44L |
充裝量 | 壓力和重量不定 |
閥門 | CGA-350/330、QF-21 |
