南京晨虹特氣集團公司
（成員單位）
南京特種氣體廠股份有限公司
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Silane 硅烷（SiH4）
Total Purity 純度≥99.9999%
氣相雜質Vapor Phase Impurities
Contaminants雜質 | Specifications（ppm）規格 | |
O2+Ar | Oxygen+Argon氧氬 | ＜0.05 |
Total Chlorosilane | Total Chlorosilane總氯硅烷 | ＜0.15 |
Disilane | Disilane乙硅烷 | ＜0.5 |
CO2 | Carbon Dioxide二氧化碳 | ＜0.05 |
CO | Carbon Monoxide一氧化碳 | ＜0.05 |
He | Helium氦氣 | ＜1 |
N2 | Nitrogen氮氣 | ＜1 |
H2 | Hydrogen氫 | ＜20 |
O2 | Oxygen氧 | ＜0.05 |
CH4 | Methane甲烷 | ＜0.05 |
Carbon | Carbon碳 | ＜0.2 |
Disiloxane | Disiloxane二硅氧烷 | ＜0.5 |
Methylsilane | Methylsilane甲基硅烷 | ＜0.5 |
As | Arsenic砷 | ＜0.005ppb |
B | Boron硼 | ＜0.02ppb |
P | Phosphorus磷 | ＜0.02ppb |
K | Potassium鉀 | ＜10 |
Resistivity | Resistivity電阻系數 | ＞10000ohm-cm |
H2O | Moisture水 | ＜0.5 |
包裝規格Standard Package Information
Cylinder Type氣瓶規格 | 47L、Ton-cylinder、20ft ISO-Container、40ft ISO-Container |
Fill Weight充裝量 | 10kg、100kg、2000kg、4000kg |
Valve Connection閥門 | JIS22L、CGA-632、CGA-350 |
