南京晨虹特氣集團公司
（成員單位）
南京特種氣體廠股份有限公司
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Dichlorosilane 二氯二氫硅（SiH2Cl2）
Total Purity 純度≥99.7%
氣相雜質Vapor Phase Impurities
Contaminants雜質 | Specifications規格 | |
Inert gases | 惰性氣體 | ＜1000ppm |
Monochlorosilane | 一氯甲硅烷 | ＜800ppm/w |
Trichlorosilane | 三氯氫硅 | ＜2000ppm/w |
Silicon Tetrachloride | 四氯化硅 | ＜300ppm/w |
Carbon | 碳 | ＜0.05ppm/w |
Aluminium | 鋁 | ＜0.04ppm/w |
Arsenic | 砷 | ＜0.03ppm/w |
Boron | 硼 | ＜0.02ppm/w |
Lron | 鐵 | ＜3ppb/w |
Phsophorus | 磷 | ＜0.05ppb/w |
O | 氧 | ＜1ppm |
Resistivity | 電阻系數 | ＞400 ohm-cm |
包裝規格Standard Package Information
Cylinder Type氣瓶規格 | 44L |
Fill Weight充裝量 | 90/50/10 |
Valve Connection閥門 | CGA-678 |
